国际设备厂商周期下行，但中国设备厂商逆势上行

　国际半导体设备订单封装设备23Q1环比改善但同比大幅下滑，制程设备订单高位下降。Besi 23Q1新接订单1.42亿欧元，同比下滑31%，环比上升21%。ASMPT 23Q1新接订单4.53亿美元，同比下滑50%，环比上升14%。ASM 23Q1新接订单6.47亿欧元，同比下滑8%，环比下滑22%。ASML 23Q1新接订单37.52亿欧元，同比下滑46%，环比下滑41%。

  国际半导体设备收入增速放缓，大部分封测设备和零部件销售收入同比下滑。23Q1，前道制程设备ASML、ASM、Axcelis单季度收入增速保持在15%以上，但Lam Research、Onto单季度收入增速由正转负。23Q2，Lam Research单季度收入将大幅下滑30%左右，KLA单季度收入增速将由正转负。封装设备、测试设备和半导体零部件上市公司在23Q1及23Q3也将延续负增长趋势。

  国内半导体设备企业销售额增速保持在50%以上。2022年中国半导体设备16家上市公司的总收入达到335亿元，同比增长57%。22Q4、23Q1，本土半导体设备上市公司的单季度收入继续保持55%、57%的强劲增长，拓荆科技、华海清科、盛美上海的收入增速弹性较大。

  国内半导体设备盈利能力持续提升。2022年国内前道制程设备企业扣非净利率平均值15.7%，2017-2021年扣非净利率依次是-8.3%、-0.1%、2.4%、2.6%、8.3%，逐年上升趋势显著。2022年，国内前道制程设备企业的平均毛利率45.1%，2017-2021年毛利率依次是37.8%、38.2%、39.1%、37.8%、41.0%，2022年相比2021年提升4.1个百分点。

  国内半导体设备上市公司订单普遍高增长，拓荆、华海清科2022年BBRatio大于2。晶盛机电23Q1未完成半导体设备合同（含税）35.2亿元，创历史新高。中微公司2022年新订单63.2亿元同比增长53%。拓荆科技2022年新订单43.62亿元同比增长95.36%，2022年末在手订单46.02亿元。华海清科2022年新订单35.71亿元。芯源微2022年新订单22亿元（含税）。

  国内半导体制程设备合同负债、存货、发出商品均大幅增长。尽管美国2022年10月7日颁布半导体出口管制升级新规落地，拓荆科技、华海清科、盛美上海、中微公司、北方华创的合同负债、存货数据在2022年第四季度和2023年第一季度，依然呈现上行趋势，大部分交付节奏和新接订单受到的冲击并不显著。

  国内半导体设备企业的人均创收逐年提升，中微公司一直领先。半导体设备上市公司的2022年人均收入中，中微公司国内最高达到391万元/人，其次是盛美上海、拓荆科技、华峰测控，依次达到278万元/人、271万元/人、240万元/人。但相比全球第一大半导体设备公司Applied Materials的人均收入86万美元/人（参考2023年4月28日汇率收盘价6.9284折算为RMB 595万元/人），中微公司仍有1/3的差距。

  国内主要半导体零部件企业23Q1业绩表现一般。富创精密Q1收入3.41亿元，仅同比增长22%，扣非净利润0.04亿元，同比下滑88%；江丰电子Q1收入5.65亿元，仅同比增长15%，扣非净利润0.36亿元，同比下滑15%；新莱应材Q1收入6.39亿元，仅同比增长2%，扣非净利润0.51亿元，同比下滑36%。

  投资建议关注半导体设备厂商中微公司、盛美上海、拓荆科技、微导纳米、华海清科、北方华创、芯源微、华峰测控、长川科技、万业企业、精测电子、天准科技、华兴源创、快克股份、德龙激光、光力科技；关注半导体零部件厂商新莱应材、英杰电气、正帆科技、富创精密、汉钟精机、江丰电子、盛剑环境、华亚智能。

  风险分析外部环境不确定性风险，技术迭代风险，美国进一步限制关键设备和零部件出口的风险。