积塔/华虹招标53/49台，芯源微/北方华创/拓荆科技中标15/14/11台

  国内半导体设备5月招投标数据（仅限于已公布的数据）

  国内晶圆厂商招标数据

  华虹半导体CVD+1台，ALD+1台，干法刻蚀+3台，湿法刻蚀+2台，前道检测+2台，前道计量+2台，后道测试机+16台，探针台+19台，后道封装+3台；

  上海积塔半导体PVD+7台，CVD+15台，ECP+1台，光刻机+4台，干法刻蚀+5台，湿法刻蚀+1台，前道检测+4台，湿法清洗+3台，去胶+2台，涂胶显影+3台，化学机械研磨+5台，退火+1台，氧化扩散+2台；

  福建晋华CVD+1台，前道检测+2台，前道计量+3台，退火+2台，离子注入+1台；燕东微电子科技前道计量+1台，湿法清洗+1台，离子注入+5台，后道测试机+3台；华力微电子干法刻蚀+1台，离子注入+1台；

  上海新微PVD+1台，干法刻蚀+1台，前道检测+1台，抛光研磨机+1台，氧化扩散+1台，后道封装+5台；

  国内设备厂商中标数据

  北方华创PVD+8台，干法刻蚀+2台，湿法清洗+2台，氧化扩散+2台；中微公司干法刻蚀+2台；芯源微涂胶显影+15台；沈阳拓荆CVD+11台；上海微电子光刻机+1台，缺陷检测显微镜+4台；屹唐半导体退火+1台；华海清科化学机械研磨+7台；上海精测半导体前道检测+1台；中科飞测前道检测+1台，前道计量+4台；新益昌粘片机+3台；

  半导体设备行业景气度数据

  半导体设备销售额2021-2023年全球分别为1026/1143/1134亿美元，同比+44.2%/+11.4%/-0.8%（SEMI 21年12月预测）；中国大陆分别为296/355/369亿美元，同比+58.2%/+19.7%/+4.0%（光大证券研究所22年6月预测）。

  2022年5月中国台湾半导体设备进口额为27.14亿美元，同比增长32.9%；台积电营业收入为1857.05亿新台币，同比增长65.3%。

  2022年4月中国半导体销售额为167.3亿美元，同比增长13.3%；中国半导体器件用机器及装置进口额累计值为439.78亿元，同比减少1.5%。

  2022年第一季度全球半导体设备销售额为246.9亿美元，同比增长4.8%；中国大陆半导体设备销售额为75.7亿美元，同比增长27.0%。

  半导体设备行业投资建议建议关注北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海、至纯科技、华峰测控、长川科技、芯源微、万业企业、华海清科、光力科技、华兴源创、精测电子、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASMPacific（H）。

  半导体材料行业投资建议建议关注神工股份、沪硅产业-U、立昂微、雅克科技、彤程新材、晶瑞电材、鼎龙股份、安集科技、上海新阳、江化微、南大光电、华特气体、金宏气体。

  风险分析国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。