签下6.58亿元大单 万业企业离子注入机进入放量期

（上海，记者 邱豪）讯，春节后的首个交易日盘后，半导体设备商万业企业（600641.SH）披露重磅订单，拟向重要客户出售多台离子注入机设备。2月7日晚间从公司相关负责人处获悉，此前送验的多台离子注入机设备均已过验，随着批量订单的签订，意味着其离子注入机产品正式进入放量期。

根据公告，万业企业控股孙公司北京凯世通拟向重要客户出售多台12英寸集成电路设备，包含低能大束流离子注入机和低能大束流超低温离子注入机，总交易金额6.58亿元。据记者了解，低能大束流离子注入机的售价在3000万元左右，以该单价粗略计算，此次交易的设备数量不少于20台。

公司相关负责人告诉记者，交易设备主要应用于28nm主流芯片制程；此前送验的多台设备均已于2021年分别通过两家12英寸晶圆厂验证，包括低能大束流离子注入机、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机，而相关设备在主流晶圆厂过验之后，再进入其他晶圆厂产线，验证周期也将大幅缩短，意即公司离子注入机产品将加速放量。

该负责人进一步向记者表示，根据下游客户测算，目前一条月产1万片的12英寸逻辑芯片生产线大约需要20台离子注入机，公司产品供不应求，仍不能满足国内一线晶圆厂需求。

设备厂商的业绩支撑来自于下游晶圆厂的资本开支，一般而言，后者的近八成支出用于设备购置。包括台积电等多家晶圆制造商已明确表示，将在2022年继续加大资本开支，积极扩产。海外设备龙头们则在近期的电话会议上披露，订单需求持续旺盛。

与此同时，在地缘政治和供应链安全的考量下，各国政府纷纷加大力度保障芯片的本土化生产。国内设备的国产化率也正在逐步提高。包括北方华创(002371.SZ)、中微公司(688012.SH)、芯源微(688037.SH)、长川科技(300604.SZ)等多家A股设备公司上月披露预增公告，2021年四季度业绩继续高增。

中银证券半导体首席分析师杨绍辉认为，半导体设备的国产化是外部环境倒逼叠加10多年国产设备技术积淀的综合结果，2022年主要关注离子注入、镀铜、量测的国产化突破，以及相对成熟产品CMP、PVD、ICP刻蚀、PECVD、涂胶显影、清洗设备的市占率进一步大幅提升。