从长江存储招标中微半导体和北方华创的机会截止11

从长江存储招标中微半导体和北方华创的机会

截止11 月，长江存储一共开启了30 批的设备招标

长江存储 1-30 批招标合计开标了近 2000 台核心设备，对历史中标数据的计算发现

1在刻蚀、PVD、清洗机、氧化/退火、CMP 设备领域，国产厂商实现了较大突破，国产化率分别达到了 17.68%、21.43%、25.76%、41.03%、14.71%，2在 CVD、过程控制设备领域实现了较小突破，国产化率分别为 1.81%、2.79%；3但在光刻机、晶圆测试机、探针台领域，国产厂商尚未实现中标。

从长江存储招标半导体设备国产化加速，大陆产线陆续进入设备采购高峰期。除了长江 存储项目，未来两年大陆进入投产或处在产能爬坡的存储 器/晶圆厂产线近 20 条，预示着本土半导体设备企业迎来加速获取订单的重要时期。

从上表中可以出，长江存储大规模招标从 2017 年 Q4 开始，第 13/14/15 批次的核心设备招标数量超过 300 台，国产设备中标高峰出现在2019 年 Q1；2019 年以前长江存储设备招标国产化率为 5.9%，2019 年以来设备国产化率提升到 6.7%，较之前有所提升。

全球产能中心逐步向中国大陆转移，国内外半导体制造企业纷纷加大对国内半导体生产线的投资，如英特尔、三星、SK 海力士、台积电等已陆续或计划在我国建设工厂或代工厂，不完全梳理，国内在建或拟建的 12 英寸晶圆厂达到 25 座。

北方华创和中微公司中标长江存储设备类别占比

刻蚀设备中微具备全球竞争力，北方华创实现突破.

中微公司在集成电路介质刻蚀和硅刻蚀设备领域已具备全球竞争力，是国内 IC 制造设备进口替代的领导者。

长江存储合计开标了198 台刻蚀机，中微公司中标 29 台（2019年前16台，2019年13台），占比 14.65%，排名第二，但与排名一的拉姆研究 57.58%的占比仍有较大差距，后续有望持续提升份额。

北方华创在16批次首次中标 1 台多晶硅等离子蚀刻设备，2019 年再次中标 5 台硅槽刻蚀设备，加速趋势明显。

清洗设备盛美半导体竞争力突出，北方华创实现中标

清洗设备的供应商较为分散，主要包括日本厂商 Screen、东京电子，美国厂商拉姆研究，国内厂商盛美半导体、北方华创、至纯科技等。长江存储合计开标 66 台清洗机，其中盛美中标 12 台，占比 17.6%，竞争力突出，北方华创仅实现 2 台槽式控挡片清洗订单。

氧化/退火设备北方华创优势明显，Mattson RTP 设备具备全球竞争力。

北方华创的立式炉、卧式炉设备处于国内半导体设备的领先水平，具备较强的竞争力。

长江存储合计开标 78 台氧化/退火设备，其中北方华创氧化设备和退火设备分别中标 15、17 台，占比达到了 65.2%、30.9%，优势十分明显。另外 Mattson 也中标 1 台退火设备，实际上 Mattson 在 RTP 设备领域排名世界前三，其主要客户同样是位列全球前三的芯片制造厂商。

薄膜设备北方华创、沈阳拓荆实现中标，ALD 尚未中标

长江存储合计开标 CVD、PVD 和 ALD 分为 221、14 和 109 台。当前仅北方华创和沈阳拓荆在薄膜设备上实现中标，其中北方华创中标 3 台 PVD，沈阳拓荆中标 4 台 CVD，中标占比分别为 21.4%和 1.8%，北方华创铜互连 PVD 正在多家客户生产线验证，后续有望成为新的。

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