天相熊
金融界2024年3月12日消息,据国家知识产权局公告,无锡新洁能股份有限公司取得一项名为“一种晶圆级功率半导体器件及其制作方法“,授权公告号CN107591452B,申请日期为2017年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆级功率半导体器件,包括有源区其中,有源区包括第一导电类型衬底和第一导电类型衬底外延层,在第一导电类型衬底外延层上形成沟槽,沟槽内填充导电多晶硅,第二导电类型体区上形成第一导电类型源极,第一导电类型源极和第一导电类型衬底外延层的上表面形成绝缘介质层,绝缘介质层上形成源极引线孔、漏极引线孔和栅极引线孔,第一导电类型源极通过源极引线孔与源漏栅金属层连接,第一导电类型衬底外延层通过漏极引线孔与源漏栅金属层连接,且源极引线孔、漏极引线孔和栅极引线孔均为同一工艺步骤形成。本发明还公开了一种晶圆级功率半导体器件的制作方法。本发明提供的晶圆级功率半导体器件,减少工艺制造光刻层数。
分享:
请输入验证信息:
你的加群请求已发送,请等候群主/管理员验证。
数据来自赢家江恩软件>>
虚位以待
暂无
0人关注了该股票
长期未登录发言
吧主违规操作
色情、反动
其他
*投诉理由
答:新洁能所属板块是 上游行业:电详情>>
答:2023-04-24详情>>
答:2023-04-21详情>>
答:新洁能的概念股是:第三代半导体详情>>
答:电力电子元器件的制造、研发、设详情>>
Facebook概念逆势上涨,中青宝以涨幅14.0%领涨Facebook概念
快手概念逆势走强,概念龙头股汤姆猫涨幅20.05%领涨
云游戏概念逆势走强,形成向上跳空形态
语音技术概念大幅上涨2.07%,概念龙头股精伦电子涨幅10.06%领涨
天相熊
新洁能取得晶圆级功率半导体器件及其制作方法专利,减少工艺制造光刻层数
金融界2024年3月12日消息,据国家知识产权局公告,无锡新洁能股份有限公司取得一项名为“一种晶圆级功率半导体器件及其制作方法“,授权公告号CN107591452B,申请日期为2017年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆级功率半导体器件,包括有源区其中,有源区包括第一导电类型衬底和第一导电类型衬底外延层,在第一导电类型衬底外延层上形成沟槽,沟槽内填充导电多晶硅,第二导电类型体区上形成第一导电类型源极,第一导电类型源极和第一导电类型衬底外延层的上表面形成绝缘介质层,绝缘介质层上形成源极引线孔、漏极引线孔和栅极引线孔,第一导电类型源极通过源极引线孔与源漏栅金属层连接,第一导电类型衬底外延层通过漏极引线孔与源漏栅金属层连接,且源极引线孔、漏极引线孔和栅极引线孔均为同一工艺步骤形成。本发明还公开了一种晶圆级功率半导体器件的制作方法。本发明提供的晶圆级功率半导体器件,减少工艺制造光刻层数。
分享:
相关帖子