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至纯科技湿法设备均为自主研发及生产，未实施过收购境外技术的事项

作者：芒粉的奇幻之旅
2022-05-30 16:36:50
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集微网消息，近日，有投资者在投资者互动平台提问至纯科技近期有新闻提到韩国半导体设备审查更严格，还涉及到一项和清洗设备有关的三星员工的诉讼，请问对公司有什么影响吗？公司的湿法设备技术来源是哪里？

至纯科技5月30日在投资者互动平台表示，韩国设备审查严格及诉讼的事项公司也关注到了，非常明确的是，公司布局的湿法设备均为自主研发及生产，设备及部件均有公司自主的专利，公司未实施过收购境外技术的事项。公司湿法设备技术选择的是日系技术路线，技术均为该路线下达到同样工艺需求的自主研发。截至2021年末，公司研发人员240人，占比达16.32%；公司研发费用比上年同期增长51.18%。截至2022年3月末，公司湿法设备已申请专利200项，其中发明专利128项。公司自研的清洗设备，结合公司20多年对于超高纯工艺流体的技术能力，具有独特的设计理念和结构，并获得国内下游核心客户的认可。

在市场需求方面，此前，至纯科技表示，目前订单需求旺盛，公司从2021年开始就已经制定并执行增产计划，目前顺利推行；短期内可以满足订单高速增长的情况；公司半导体设备目前生产制造主要在南通，受到疫情的影响相对较小，二季度交付目前看来影响相对较小。

（校对/Andy）

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