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上机数控用140炉拉12英寸单晶硅棒用的是32英寸

  • 作者:Emmzikiang
  • 2020-09-23 13:52:43
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上机数控用140炉拉12英寸单晶硅棒用的是32英寸热场(只是不知道它是用晶盛机电的炉子干的还是用京运通的炉子干的)。隆基说32寸热场做160mm-180mm最优,是否意味着做210需要36寸热场更合适?
隆基在长晶过程中会使用不同尺寸的热场,目前32寸的石墨热场及坩埚等配套方面是不错的选择,而36寸的边际收益上不明显。公司基于32寸的热场来推演最优的硅片直径,在160mm-180mm是比较优化的尺寸,大于180对降低拉晶成本已没有明显的优势。
隆基银川单晶炉的尺寸有所增大,未来装36寸热场甚至40寸的也没问题,涉及到持续的非硅成本的降低与技术进步。
隆基2015年之后的单晶炉都能做210,做180同样也没问题。单晶炉没必要改造,但封装夹具、热场设备等其他设备可能需要改造,后续切片环节同样可能需要改动。现有的切片机也可以兼容180,不需要大的改变,而210需要更换切片机。

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