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  • 作者:持续盈利模式
  • 2022-08-25 12:58:01
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旭光电子 氮化铝陶瓷龙头

目前普遍的静电吸盘技术主要是以氧化铝陶瓷或氮化铝陶瓷作为主体材料。对于普通的硅晶圆加工,高纯氧化铝或蓝宝石可以满足要求,但若用在碳化硅晶圆加工,导热性就有所不足了,必须要用氮化铝才能达到要求。据闻,氮化铝在半导体领域的应用在国外已成为氮化铝陶瓷的主要市场,最高端的静电吸盘甚至可以卖到几十万到上百万人民币,非常“吸金”。


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