激光器成光刻机卡脖子关键点 英诺激光技术突破获国际巨头认可

据彭博社7月14日消息，荷兰光刻机巨头ASML与中国客户合作的能力将面临美荷更严格的管制。知情人士称，荷兰的出口管制新规将禁止ASML在未经政府批准的情况下为受管制设备提供维护、维修和备件支持，美国政府预计也将干预。 国内光刻机突破卡脖子刻不容缓! 光源系统是光刻机核心系统之一，光刻机的工艺能力首先取决于其光源。不同光源如深紫外光、极紫外光以及EUV光刻机技术，均涉及到激光器。英诺激光专注于微加工领域激光器的研发、生产、销售及以激光模组形式为客广提供定制化微加工解决方案，有望跻身光刻机产业链最为核心部分。 全球少数实现工业深紫外纳秒激光器批量供应产商、 英诺激光成立于 2011年，是国内领先的专注于微加工领域的激光器生产商和解决方案提供商，是全球少数同时具有纳秒、亚纳秒、皮秒、飞秒级微加工激光器核心技术和生产能力的工业激光器生产厂商，也是全球少数实现工业深紫外纳秒激光器批量供应的生产商之一。公司产品包括 DPSS 调 Q 纳秒激光器、超快激光器和 MOPA 纳秒/亚纳秒激光器，涉及全固态 (DPSS)MOPA 光纤、及固体-光纤混合模式等主流激光器技术、涵括从红外到深紫夕不同波段、从纳秒到飞秒多种脉宽;广泛应用于消费电子、新能源、3D 打印、芯片制造、生物医疗等领域，销售覆盖中国、美国、德国、荷兰、日本、韩国、印度、新加坡等20多个国家和地区，进入全球知名企业供应链。

二、半导体领域增长迅速 在半导体芯片制造的部分关键制程中，激光是有效的加工手段之一，而稳定可靠的高功率绿光、紫外和深紫外激光器是相关设备中的关键部件。全球及国内市场仍被国外设备厂商垄断，国产替代空间巨大。英诺激光2022年在半导体领域实现收入较上年实现显著增长，产品以碳化硅退火制程的激光器为主，亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的紫外和深紫外等激光器客户以国外知名半导体装备公司为主 公司披露曾向ASM LASER SEPARATION INTERNATIONAL B.V.提供过激光器。公司在半导体领域持续投入研发，目前提供的产品以碳化硅退火制程的激光器为主，亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的紫外和深紫外等激光器，客户以国外知名半导体装备公司为主。

三、光伏布局前沿技术路线 激光微加工适配 PERC、TOPCon、HJT、钙矿等多种高效电池技术。公司采用自主研发的定制激光器和光学/运控/视觉系统为光伏行业开发了 TOPCon激光 SE 直掺设备。该设备所采用的 QuaPulseTM 时空调制技术通过多维度精准调制手段，可实现更加均匀的工艺输出效果，助力 TOPCon 电池显著提效，性价比表现优秀

四、布局激光生物医学

激光技术已成为生物医疗领域的重要工具之一，应用场景包括器械制造、诊断和治疗等领域。早在 2014年，公司就对激光生物医学开始布局，经过多年发展，公司在激光医疗领域已经完成了研发突破和初步的业务搭建，预计将逐渐进入收获期;截止到目前，结合公司自身在激光器的技术优势，公司有选择的重点布局了个入式医疗器件超快加工和光声显微镜等两大激光医疗应用领域。公司采用自主的多款激光器和三光路同轴成像技术开发了高分辨率光声显微镜产品，其分辨率突破至 3um，可实现毛细血管级的清晰成像，同时，在满足高分辨率的要求下，能够实现 13 秒内完成 512层三维立体扫描成像，达到了全球最快的成像速度，为肿瘤、心脑血管疾病、眼科疾病等基础生命科学研究和临床医学诊疗领域提供全新的无创、无电离辐射、无需标记物的检测手段。

五、服务全球龙头海外知名度不断提升

英诺激光2022年海外收入大增，主要服务于半导体、生物医疗和消费品等行业，终端客户包括住友重工 (I) 、美敦力(Medtronic)、强生(Johnson &Johnson)和 Diamond Foundry 等全球知名公司。其中，在高值医疗器械领域，国外的业务类型仍以销售激光器和设备为主，但已在拓展制造服务方面实现首次突破。