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罗博特科铜电镀设备性能(1)给客户2种选择,单轨

  • 作者:湘麦子
  • 2023-02-01 21:08:09
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罗博特科铜电镀设备性能
(1)  给客户2种选择,单轨(600MW单线)/双轨(1.2GW单线)。
(2)  图层栅线宽度10-20微米可调。栅线厚度15微米。
(3)  节拍按照客户需求来定做,7.2k/8k/1.44w/1.6w片的调节是弹性的,非常小改动就可以满足产能需求。产能要做到多大是看客户的需求来的,要结合上下游其他工艺段的产能。
(4)  单轨600MW占比300平方。摆放总体是直线型。

时间线
1)现在预计23年3月底前,数据收集到位,整线跑通优化等。
2)第一阶段验证在年前完成了,验证方案可行性。半自动产线,镀完之后线的宽度、铜的厚度、均匀性。
3)第二阶段验证在2月底完成,全自动产线小批量验证,然后做小的中试线进行量产。后面优化调整,然后进入中试线。
4)23年2Q末-3Q进入中试线量产计划。如果中试顺利,可以建量产线。

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