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TOPcon持续爆发，多元布局助力龙头跨越技术周期——捷佳伟创(300724)深度报告

作者：高速起飞平稳降落
2023-08-22 13:31:07
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投资要点

TOPcon持续爆发，多元布局助力龙头跨越技术周期

TOPcon持续爆发，双面POLY等技术助推行业不断迭代。“股权财政”时代，TOCon凭借性价比优势正迎来扩产爆发期，根据我们不完全统计，截至2023年6月，国内已公布或签约的TOPcon项目合计287.5GW。同时产业界在持续推动双面POLY等技术发展，其理论转换效率极限可达到28.7%，预计较当前TOPcon产能提升0.8%-1.0%的效率增益。随着双面POLY技术成熟并应用，新产能具备更高性价比，从而带来新旧产能替换，使TOPcon具备内生增长动力。公司在TOPcon时代相继推出了PE-poly、MAD等创新设备，持续助推行业降本增效，目前订单正处于爆发期，未来亦有望充分受益双面POLY等新技术。

HJT产业拐点临近，公司突破客户整线订单成长可期。当前TOPcon因其高性价比已成为扩产主流，但在产能同质化和政府补贴力度下降背景下，提前布局新技术成为大厂取得先发优势不二选择。目前，HJT组件最高功率高出TOPcon最高功率约20W，非硅成本高出后者0.1-0.15元/W,而银浆占HJT非硅成本的40%以上，随着铜电镀技术的成熟，预计其非硅成本将大幅下降，叠加HJT设备降本的持续进行，HJT性价比拐点渐行渐近。类比晶科率先扩产TOPcon，HJT有望迎来抢跑。公司HJT设备快速跟进，已在RF微晶P工艺方面取得突破，降本效果显著，并于5月份取得全球头部客户整线订单，竞争实力凸显。

钙钛矿行业潜力巨大，公司设备处于领跑地位。钙钛矿电池相比晶硅电池效率更高，且可与多种类型电池叠层以进一步提升转换效率，双结叠层电池的理论极限效率为46%，同时钙钛矿电池具有明显成本优势。我们预计短期内主要应用于BIPV和CIPV领域，其中BIPV是光伏行业增长最快的细分市场之一。目前单结钙钛矿电池制备设备端，单GW投资额达10亿以上，预计未来将降至5-7亿，即2025年钙钛矿设备市场空间有望达到150-200亿。公司在钙钛矿设备领域处于行业领先地位，2023年订单超2亿元。在钙钛矿行业0-1的早期阶段，同业大多处于研发阶段，公司已经批量供货，进度远超同行。

半导体国内清洗设备空间约百亿，批量导入客户放量可期。在芯片产业链中，清洗工序约占所有制造工序的30%以上，湿法是清洗工序的主流技术，占清洗步骤的90%以上。随着芯片制程的升级，清洗的步骤与门槛亦快速提高，进而使得清洗设备的价值和市场需求提升。在全球清洗设备市场，美日韩等国外公司占据领先地位，国内正在快速突破。2022年，国内清洗设备行业规模约为97.83亿元。公司自主开发了6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备，涵盖多种前道湿法工艺。今年6月，公司8吋Cassette-less清洗设备顺利交付至上海积塔半导体有限公司，运行情况良好，且中标该客户后续10余台清洗设备订单，制程涵盖8吋至12吋，标志着公司在湿法清洗领域已达到国际领先水平，后续订单值得期待。

维持“买入”评级。当前，TOPcon正处于爆发阶段，双面POLY等技术使得TOPcon具备内生增长动力，公司订单正迎来高增长。此外，公司在HJT、钙钛矿和半导体领域持续深度布局，且均具备行业领先优势，有望跨越光伏技术周期，实现长期成长。我们预计公司2023-2025年归母净利润为19.22、28.14、39.38亿元，对应估值16.1、11.0、8.0倍，捷佳业绩增速靠前，估值较低，看好公司未来的成长性。

风险提示TOPCon技术迭代不及预期、公司业绩不及预期、研究报告中使用的公开资料可能存在息滞后或更新不及时的风险等。

正文分析

1、TOPcon持续爆发，双面POLY等技术助推行业不断迭代

1.1、“股权财政”催化，TOPcon扩产持续超预期。

◼“土地财政”步入尾声根据财政部数据，2022年国有土地使用权出让收入66854亿元，同比下降23.3%，表明土地财政随着房地产需求见顶已开始出现缺口，依靠土地财政推经济增长的模式已不可持续，政府亟需新的增长点来支撑财政。

◼“股权财政”大势所趋二十大提出“健全资本市场功能，提高直接融资比重”，以股权融资为代表的直接融资方式正逐渐受到各级政府重视，“资本招商”的模式渐起。其主要通过地方融资平台、产业引导基金等入股企业，引进一批优秀企业，进而促进当地经济和产业发展。以此模式为代表的股权财政时代正在来临。

◼光伏成为招商引资热门。“股权财政”大背景下，各地招商引资如火如荼，而其中光伏则成为招商引资热门产业。原因是①光伏属于清洁能源，符合双碳发展目标。②光伏投资成本低、建设周期短、见效快。以光伏电池片（TOPcon）为例，设备投资强度约为1.6-1.8亿/GW，加上土地厂房、基础设施等，总投资约3亿元/GW。项目建设周期约为9个月。即如果投10GW产能，初始投资为30亿，按照单瓦1元计算，对应每年100亿营收（如果年初投，Q4即可产生收入）。对地方GDP和财政收入的促进效果显而易见。

◼TOPcon电池充分受益。光伏产业链纵向对比硅料、硅片和组件环节较为同质化，电池片环节技术迭代快，引领光伏的发展；电池环节横向对比PERC属于落后产能，不符合先进的技术方向，而HJT和钙钛矿属于远期前沿技术，无法形成规模化出货（对于地方政府无法形成GDP和利税贡献）。而TOPcon属于高效新型技术，性价比高，扩产周期短，产业端已量产出货。因此，TOPcon正成为各地追捧的招商引资对象。根据我们不完全统计，截至2023年6月底，国内已公布或签约的TOPcon项目合计287.5GW。

◼2023年TOPCon出货量超110GW，占终端需求比重约26%。根据我们对各家电池企业产能扩张进度的统计，2023年业内TOPCon电池投产产能约190GW（受PERC产能约束，各家TOPcon达产进度或将低于预期），出货量将超110GW（按照100%产能利用率测算）。据PV InfoLink预测，2023年光伏电池总出货量约416GW，即TOPCon出货量占比约26%（如果按照80%的产能利用率，占比仅为21%），未形成高份额占比，高溢价背景下，TOPCon扩产仍有望保持高增速。

1.2、复盘PERC时代，TOPcon扩产仍未高点

◼PERC时代根据PV InfoLink统计，PERC总产能在2022年达480GW，而22年终端装机需求仅为230GW，即PERC总产能与终端需求比值为2.1。造成这种现象的原因是PERC体系内的技术迭代，如增加SE的PERC产能转换效率更高，进而替代传统PERC产能，使后者失效，成为无效产能。

◼TOPcon时代市场基于终端需求判断行业扩厂进度。我们认为，这种判断将显著低估TOPcon扩产的量级和持续性。因为TOPcon的替代分为两个阶段①TOPcon替代PERC；②先进TOPcon替代传统TOPcon（即新产能替代旧产能）。最终TOPcon扩产量级将远超市场预期。按照PERC时代2-2.5的比例测算，终端需求根据PV InfoLink统计将达到400GW以上，最终TOPcon扩产将达到800-1000GW。

1.3、双面POLY等技术助推，TOPcon具备内生增长动力

◼传统TOPcon电池结构TOPCon是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触(Tunnel Oxide Passivated Contact)太阳能电池技术，其电池结构为N型硅衬底电池，在电池背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，有效降低表面复合和金属接触复合，为N-PERT电池转换效率进一步提升提供了更大的空间。其与PERC相比的改进是增加了遂穿层，包括两层结构一是1-2nm的超薄SiO2作为遂穿层实现钝化，二是100nm的掺杂多晶硅层形成背面的异质结结构。

◼TOPCon能够与PERC产线进行兼容。从工艺来看，TOPCon在PERC的基础上增加了硼掺杂、非晶硅及遂穿层沉积、湿法刻蚀工艺，对应增加的设备为硼扩散炉、LPCVD（或PECVD）、湿法刻蚀设备。

◼双面POLY是正反两面均采用钝化接触结构的电池技术。双面POLY电池基本结构与传统的TOPcon电池结构一致，二者的区别在于双面POLY电池在其正面也要依次沉积氧化硅层和多晶硅层，形成钝化结构。

◼双面poly可以进一步提升TOPcon转换效率。根据《On the limiting efficiency for silicon heterojunction solar cells》（Wei Long等），TOPcon电池在采用单面POLY层的情况下，理论极限效率是27.1%，若采取双面PLOY层则可达到28.7%的理论效率。在实际转换效率提升上，预计有望带来0.8%-1.0%的效率增益。

◼目前产业界已对双面POLY技术有深度探索和布局。以三一集团为例，其采用PoPaid技术在正面经过制结后的硅片的正面和背面分别制备氧化硅层，而后采用PoPaid技术在硅片的背面制备掺杂非晶硅层，采用激光图形转印技术在硅片正面局部印刷掺硼硅浆料，涂覆位置与正面电极图形相对应，而且印刷宽度大于等于栅线宽度，经过退火后制得局域掺硼多晶硅层。该制备方法能够有效避免多晶硅绕镀问题，而且步骤简单，成本低。

◼双面POLY等技术使TOPcon具备内生增长动力，新产能将逐步替代旧产能。参考上文，双面POLY技术将推动TOPcon理论转换效率极限提升至28.7%，实际量产效率亦较当前水平提升0.8%-1%，使得采用双面POLY的TOPcon产能较以往产能具备更高性价比，从而带来新旧产能替换，旧产能逐渐失效。

1.4、公司PE-poly设备优势显著，客户验证进展顺利

◼公司TOPcon设备技术实力突出。TOPcon时代，公司相继推出了PE-poly、MAD等设备，持续助推行业降本增效。其中，PE-poly技术核心方案完美实现了隧穿层、Poly层、原位掺杂层的“三合一”制备，不仅解决了传统TOPCon电池生产过程中绕镀、能耗高、石英件高损耗的固有难点，而且新型PE-poly技术路线的原位掺杂时间仅为传统LP路线的五分之一。MAD是公司独创开发的技术，用于TOPCon PE-poly路线正面氧化铝和氮化硅二合一制备，能够替代传统正面的ALD/PEALD路线，量产表现优秀且工艺研发空间宽阔。

◼公司PE-Poly设备优势①工艺时长PE-Poly为40-50分钟，LPCVD为110分钟；②投资成本PE-Poly设备投资总体低于LP设备；③单W成本PE-Poly比LP节省约8厘/W；④转换效率PE-Poly量产效率为25.5%，预计今年为26%，明年有望达到26.5%；⑤良率PE-Poly良率比LP高约0.5%。

◼客户PE产线爬坡顺利，示范效应凸显。根据公司官微披露，PE-Poly技术路线在客户量产中电池转换效率表现突出，量产良率已达到97％以上，以公司客户大恒能源为例，仅用时23天，其TOPCon PE-poly产线（未上SE）实现了电池平均量产转换效率达25.4%以上，电池入库良率突破97%，达到目前行业最先进水平，开创了行业新纪录。我们认为，客户端PE数据的不断公布有望形成示范效应，促使公司持续获取PE订单。

◼TOPCon时代公司有望获取较高市占率。从PERC设备竞争格局来看，捷佳在红海市场的竞争中，市占率持续提升，到2021年捷佳伟创已成为国内具备PERC设备整线供应能力的龙头企业，综合市占率超50%，其中核心的单晶制绒设备和刻蚀清洗设备市场占有率达70%以上，扩散设备和PECVD设备市场占有率达50%以上。在TOPCon时代初期，公司有望拥有比PERC更高的市占率，原因在于TOPCon电池盈利能力强，下游厂商首选已有成熟量产厂商的设备，捷佳作为独立的设备供应商，有望占据较大市场份额，即超过50%。

◼公司订单正处于爆发阶段，后续业绩高增具备支撑。2023一季度末，公司合同负债为77.86亿元，较2022年年末增加19.74亿元，同比口径增长132.08%，表明公司订单正迎来爆发式增长（这种增长从2022年3季度已经开始体现，2022Q3、2022Q4、2023Q1合同负债增速分别为27.70%、55.05%、132.08%，与TOPcon行业的扩产节奏基本吻合），从而为后续业绩的高增提供较强支撑。

2、HJT产业拐点临近，公司突破客户整线订单成长可期

2.1、铜电镀助推HJT持续降本，期待性价比拐点来临

◼银浆成本高企是HJT大规模产业化的主要瓶颈。当前，HJT与TOPcon的性价比比较是行业主要关注点，我们主要基于最新的量产线数据，进行以下三大核心参数的对比

1）转换效率①电池转换效率2022年11月隆基绿能HJT电池转化效率达到26.81%，2023年4月中来股份TOPCon电池转换效率做到26.7%，表明研发数据上限较为接近。实地产业链调研的平均量产效率TOPCon为25.5%（考虑SE）、HJT已突破25%（双面微晶），并有望提升至25.5%以上。①组件转换效率CTM值等于组件功率与一个组件所用电池片功率总和的比值，表示组件功率损失的程度，CTM值越高表示组件封装功率损失的程度越小。根据东方日升官微，其210尺寸HJT组件功率最高达到741.456W，效率为23.89%。中来股份210尺寸TOPcon组件功率可达720W，效率为23.18%。可以看出，HJT组件最高功率高出TOPcon最高功率约20W，转换效率亦有一定优势。

2）硅片成本在N型硅片报价一致的情况下，硅片成本主要取决于硅片厚度。目前TOPCon电池硅片主流厚度已降至130μm（晶科已做到125μm），HJT电池硅片主流厚度亦为130μm，两者厚度差异尚不明显。从减薄趋势看，两种技术路线的厂家均再向120μm及以下的厚度推进。

3）非硅成本

其中，银浆成本约为0.13元/W（按照20mg/W银浆耗量、6500元/kg银浆价格、90%的银浆占比计算），占非硅成本比重约为42%，是制约HJT大规模量产的主要成本瓶颈。

◼铜电镀可彻底实现无银化，进一步降本增效。现阶段，降低银浆成本主要有两种手段一是优化栅线图形进而节约银浆耗量，例如MBB、0BB等技术，其中0BB属无主栅技术，可大幅降低银耗；二是降低浆料中的银含量，例如银包铜、铜电镀等技术。目前已有电池厂家将两种手段结合进一步降低银耗，如东方日升采用银包铜（使银含量降到50%以下）+0BB技术，HJT量产组件产品的纯银单瓦耗量已降至10mg以内，金属化成本有望下降5-6分/瓦。此种方式依然采用传统的丝网印刷工艺制备。但若想实现彻底去银，电镀铜技术是最终手段，其采用全铜栅线，增效方面，铜栅线更细，遮光面积降低，电阻率低，有助于提高电池效率（超过0.2%）；降本方面，铜金属价格更低，根据海源复材，铜电镀可使金属化成本降低50%左右（预计降低5-6分/瓦，与银包铜降本效果相当）

◼铜电镀产业进展迅速，助推HJT性价比拐点来临。2023年5月，海源复材、芯碁微装、广材料三家企业签署《高效率低成本N型电池铜电镀金属化技术战略合作协议》，结为战略合作伙伴并展开全方面技术合作，电池厂商、设备厂商和材料厂商所构成的铜电镀产业生态进一步完善。此外，2023年7月，通威基本验收太阳井200MW中试线、国电投验证罗博特科600MW设备，进一步表明铜电镀产业趋势正在来临。我们认为，随着铜电镀技术的成熟，HJT非硅成本将大幅下降，同时转换效率进一步提升，叠加HJT设备降本的持续进行，HJT性价比拐点渐行渐近。

2.2、大厂博弈背景下，HJT有望迎来抢跑

◼提前布局新技术是大厂在后TOPcon时代的不二选择。当前TOPcon因其高性价比已成为扩产主流，2023年预计扩产规模达400-500GW。在这一背景下，光伏大厂在TOPCon持续扩产上需考虑两个因素1）产业层面，政府基于产能过剩担忧从而降低补贴力度，导致TOPcon建设成本增加；2）资本层面，TOPCon产能趋于同质化，大厂扩产TOPCon难以获得资本青睐。提前布局新技术成为大厂在后TOPCon时代取得先发优势不二选择。

◼类比晶科率先扩产TOPcon，HJT有望迎来抢跑。当前主要电池新技术包括HJT和钙钛矿，而钙钛矿属于相对远期技术，因此HJT成为大厂抢跑扩产首选（同时满足量产落地和新技术要求）。类比22年晶科率先扩产TOPcon，在技术路线终将趋同趋势下，先发优势重要性凸显。值得注意的是，晶科22年对TOPcon的率先扩产表明先发扩产时点不一定是性价比最优时点，所以即使出现大厂扩产，并不等于HJT性价比领先TOPCon。

2.3、公司技术快速跟进，头部客户整线订单重大突破

◼公司HJT设备自主研发HJT制绒、非晶硅镀膜、TCO、丝网印刷等工序的主机设备，具有完全知识产权；板式PECVD可实现单面或双面微晶工艺，助力HJT电池25%以上量产平均转换效率目标的实现；自研的RPD持续优化，其转换效率的显著优势已在客户端得到验证。

◼公司在RF微晶P工艺方面取得突破，降本效果显著。由于RF工艺频率较低（一般为13.56MHz，VHF工艺一般在30-300MHz），高速高质量沉积一直是困扰HJT大产能板P的技术难点。根据公司官微，近期公司在RF工艺方面取得突破，微晶P薄膜沉积速率超过2埃/秒，晶化率稳定在50%以上，速率和晶化率均达到VHF水平，处于行业前列。公司的大产能射频板P预计将比市面上主流设备减少1-2个微晶P腔体，降本效果突出。

◼HJT取得全球头部客户整线订单，彰显实力。根据公司官微，5月中标全球头部光伏企业量产型HJT整线订单，本次订单采用了公司最新的板式PECVD双面微晶工艺。此外，公司还积极参与了境外及国内多家新能源头部企业的HJT项目招标，取得了制绒/板式PECVD/Cat-CVD/PAR/PVD/印刷等十余项单机设备中标通知书及重复订单。这标志着公司稳步推进的HJT电池全路线全工序装备在技术和工艺上持续获得突破，广泛获得市场认可。目前公司在所有光伏技术路线上，即PERC（1.2亿/GW）、TOPcon（1.6-1.8亿/GW）、HJT（3.5-4亿/GW）、钙钛矿（7-10亿/GW），均取得头部客户整线订单，光伏设备龙头实力进一步凸显。

3、钙钛矿行业潜力巨大，公司设备处于领跑地位

3.1、钙钛矿电池优势明显，技术潜力突出

◼钙钛矿电池相比晶硅电池效率更高。钙钛矿电池是利用钙钛矿型材料作为吸光层的新型化合物薄膜太阳能电池。自2009年钙钛矿电池面世以来，仅经过13年发展，其效率就从3.8%提升至26.1%，并且还有增长的趋势，其效率提升速度是所有光伏技术中最快的。相对晶硅太阳能电池, 钙钛矿电池更轻薄、柔性和透光性更强、短波长范围内吸光能力强。钙钛矿电池的理论极限效率（31%）也高于晶硅电池（29.4%）。同时，钙钛矿电池可与多种类型电池叠层以进一步提升转换效率，双结叠层电池的理论极限效率为46%。钙钛矿这一特性有望令其成为超越晶硅的下一代主流光伏电池技术路线。

◼钙钛矿电池具有明显成本优势。钙钛矿材料中A位、B位、X位均可迭代替换，可选用的材质种类众多。通过改变A、B、X三种离子的种类以及不同种类之间的混合比，可以达到钙钛矿材料的带隙从1.17eV到3.11eV之间连续调控，从而获得最佳禁带宽度；相对于其他化合物薄膜电池（如CdTe、CIGS电池等），钙钛矿电池原料更易获取、迭代能力更强。此外，量产中钙钛矿层材料多采用有机无机杂化化合物，且厚度非常薄（0.3-0.8um)，相比晶硅电池（130-170um），钙钛矿电池耗材更少且成本低廉。从成本而言，钙钛矿降本空间明显。钙钛矿电池相对晶硅电池具有耗材少、成本低、产业链紧凑、总投资少的优点，以协鑫100MW钙钛矿产线为例玻璃和电极成本占比最高，占比分别为34.0%和30.9%，钙钛矿材料成本占比仅为3.1%；当钙钛矿电池产能扩大到1GW以上时，组件成本可达晶硅组件的70%。

3.2、钙钛矿电池产业提升潜力巨大

◼钙钛矿电池是理想的BIPV材料。钙钛矿电池具备轻薄、透光性强、短波长吸光能力强、弱光效应好、可在柔性基材上制备的优点，预计短期内主要应用于BIPV（光伏建筑一体化）和CIPV（车载光伏）。其中，BIPV是光伏行业增长最快的细分市场之一。BIPV组件在不影响建筑美观的情况下能够广泛吸收太阳能，可以用于替代建筑围护结构部分（如屋顶、天窗或外墙）中的传统建筑材料。BIPV是钙钛矿的最佳应用场景1.钙钛矿电池投资成本低，结构轻便，易于安装；2.相比多晶硅电池，钙钛矿电池在多云、阴天以及太阳光照角度较低时持续不断产生电能；3.钙钛矿电池可以制作成具有透光性、色彩可调节的组件，能更好得融入建筑。根据测算，2028年整体BIPV市场装机规模可达201.1GW，对应BIPV组件空间可达9957亿元。若钙钛矿组件渗透率达20%，其装机规模可达40.2GW，对应钙钛矿组件市场空间482亿元。

◼CIPV投资回收周期短，有望迎来放量，钙钛矿充分受益。CIPV（汽车集成光伏）领域处于起步阶段。目前Toyota Prius Prime、Nissan Leaf、Karma Fischer Revero、Hyundai Sonata和Ioniq 5是首批配备光伏集成全景天窗的汽车。这些光伏全景天窗的功率输出约为数百瓦，主要用于支持供暖、通风和车载空调系统。CIPV发电经济性分析假设一台汽车装备CIPV设备需要额外支出5000元。一台汽车发电面积4平米，每天持续发电5小时，预计可以带来20公里的续航增程。按照电价0.72元/度，可以得到CIPV设备的投资回收期为5.28年。钙钛矿作为CIPV系统主要电池方式，有望充分受益其发展。

3.3、公司提前布局，钙钛矿设备优势明显

◼钙钛矿设备市场容量大。在钙钛矿领域，产业化设备主要包含磁控溅射仪、RPD设备、涂覆机、蒸镀机和激光设备等。空穴传输层采用磁控溅射设备；钙钛矿层多采用狭缝涂覆机；电子传输层多采用RPD设备；背电极根据选取材料不同可以选用磁控溅射设备或RPD。伴随光伏行业持续增长以及光伏技术路线不断更迭，作为光伏高效路线重要环节的光伏设备行业将迎来新的发展机遇，光伏设备市场发展空间广阔。目前单结钙钛矿电池制备设备端，单GW投资额达10亿以上，预计未来将降至5-7亿，即2025年钙钛矿设备市场空间有望达到150-200亿。

◼公司技术优势明显，提前同业布局。在钙钛矿领域，公司依托全面强大的真空镀膜技术与多年沉淀的精密设备设计能力，涵盖了RPD、PVD、PAR、CVD、蒸发镀膜及精密狭缝涂布、晶硅叠层印刷等设备。其中作为生产缓解中最贵设备，RPD设备由目前公司独供。在钙钛矿电池技术路线上，公司依托全面强大的真空镀膜技术与多年沉淀的精密设备设计能力，在大尺寸钙钛矿、全钙钛矿叠层、HJT/TOPCon叠层钙钛矿领域的设备销售持续放量。公司已向十多家光伏头部企业和行业新兴企业及研究机构提供钙钛矿装备及服务，具备钙钛矿及钙钛矿叠层MW级量产型整线装备的研发和供应能力。目前在钙钛矿设备领域处于行业领先，2023年钙钛矿订单设备金额超过2亿元人民币。在钙钛矿行业0-1的早期阶段，同业大多处于研发阶段，公司已经批量供货，进度远超同行。

4、半导体国内清洗设备空间约百亿，批量导入客户放量可期

4.1、半导体湿法清洗设备重要性凸显，国产替代进行时

◼半导体产业技术进步带动湿法清洗设备需求提升。在半导体产业链中，为制造出下游芯片，需完成前序清洗、光刻、刻蚀等工序。其中，清洗工序约占所有芯片制造工序步骤数量的30%以上，且光刻、刻蚀、沉积等工序前后都需要一步清洗工序。其中，为了减少缺陷，光刻、刻蚀、沉积等工序前后都需要清洗，清洗约占所有制造工序数量的30%以上。湿法是清洗工序的主流技术，占清洗步骤数量的90%以上。湿法清洗设备主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备和批式旋转喷淋清洗设备等，其中以单片清洗设备为主流。随着芯片制程的升级，清洗的步骤与门槛亦快速提高，进而使得清洗设备的价值和市场需求随之提升。

◼半导体清洗设备与国外差距明显，中国正快速跟进。在全球清洗设备市场，美日韩等国外公司占据领先地位，以单片清洗设备为例，DNS（迪恩士）、TEL（东京电子）、LAM（泛林半导体）与SEMES（三星电子）四家公司包揽了全球90%的市场份额。技术方面，国内公司正在快速突破，以盛美为例，其已在研7/5nm清洗设备技术，且在保持兆声波清洗效果好的优势前提下，可有效解决清洗不均匀和晶片损伤的问题。该技术不输国际领先厂商的工艺和清洗效果，正逐步打破国外垄断。

◼国内半导体清洗设备需求约百亿。全球来看，根据Marketwatch的数据，2022年全球半导体清洗设备规模达到55.91亿美元，至2028年预计达77.94亿美元，年复合增长率约为5.7%。国内来看，2015年以来，我国半导体行业投资加速，清洗设备市场需求呈持续增长态势，2022年行业规模约为97.83亿元。未来随着晶圆厂设备采购不断推进，清洗设备市场需求有望进一步提升。

4.2、公司清洗设备技术快速进步，已导入多个头部客户放量可期

◼以湿法设备为主，纵向延伸至氧化炉、退火炉等其他设备领域。公司基于自身在光伏行业丰富的技术积累和人才储备，向半导体设备领域延伸，并引进国内外专家团队。设备布局上，公司目前以清洗设备为主，自研6/8/12吋湿法刻蚀清洗设备，包括有篮和无篮的槽式设备及单片设备，涵盖了多种前道湿法工艺，应用于集成电路前段湿法刻蚀、去胶、清洗以及后段金属刻蚀、有机物去除相关工艺。此外，公司未来将继续拓展其他泛半导体市场，如面板、碳化硅等行业。

◼导入上海积塔半导体等客户，取得行业主流客户的重复性批量定单。2022年6月份，公司8吋Cassette-less清洗设备顺利交付至上海积塔半导体有限公司，设备运行情况良好，且中标上海积塔半导体后续10余台清洗设备订单，制程涵盖8吋至12吋。其他客户方面，亦成功导入青岛芯恩、成都德州仪器等头部芯片企业。同时，公司强化软件实力，协同国内多家供应商，着力开发及验证关键零部件，取得了多项“卡脖子”技术的重大突破。

5、维持“买入”评级

◼TOPCon提供持续的业绩支撑，新技术布局超前，持续看好捷佳伟创。当前，TOPcon正处于爆发阶段，同时双面PLOY等技术使得TOPcon具备持续的内生增长动力，公司订单正迎来高增长。此外，公司在HJT、钙钛矿和半导体领域持续深度布局，且均具备行业领先优势，有望跨越光伏技术周期，实现长期成长。我们预计公司2023-2025年归母净利润为19.22、28.14、39.38亿元，对应估值16.1、11.0、8.0倍，捷佳业绩增速靠前，估值较低，看好公司未来的成长性。