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  • 作者:h一马平川
  • 2023-03-28 05:37:56
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上周五晚上集成电路二期基金入股晶瑞电材子公司,加码光刻胶。
国产光刻胶正宗标的之一。
光刻胶做为生产芯片的耗材,对于半导体行业的可持续发展起着至关重要的作用,
而晶瑞电材i线光刻胶已向中芯国际、合肥长鑫等知名大尺寸半导体厂商供货;Krf光刻胶分辨率达到0.25μm~0.13μm的技术要求,已通过重要客户测试,计划年底批量供货;Arf光刻胶研发有序进行中。
“集成电路制造用高端光刻胶研发项目”持续推进中,该项目旨在打通Arf、Krf光刻胶用树脂的合成工艺路线;研发满足90-28nm制程的Arf光刻胶以及Krf光刻胶。

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