半导体设备系列研究二十二检测设备进击中的国产厂

半导体设备系列研究二十二检测设备进击中的国产厂商 突破新赛道

广发证券股份有限公司 研究员孙柏阳/代川/许兴军 日期2022-08-15

核心观点

半导体检测贯穿全程，两大市场齐增长。半导体检测贯穿设计、晶圆制造、封装三大流程，细分赛道过程工艺控制检测设备与半导体测试设备市场空间均不断扩大。根据SEMI 的数据，2021 年两类设备市场规模分别为76.5、60.1 亿美元，科磊、泰瑞达和爱德万占据绝对份额，国产替代空间较大。

测试机多个细分领域，国内厂商相继突破。华峰测控、长川科技等中国企业模拟混合测试设备已占据相当份额，打破海外巨头垄断。SoC和存储器测试机占据ATE 主要市场份额但国产化率低，是国内厂商近年来重点发展的领域。长川科技和华峰测控布局SoC，国产厂商在存储器领域已取得样机订单。另外，国内厂商积极把握功率半导体测试等新兴领域机遇，推出相应产品。

分选机和探针台长川科技完善品类布局。根据SEMI 的数据，2020年分选机和探针台市场规模分别占后道测试的10%和15%。分选机市场格局相对分散，长川科技通过内生外延已领军国内市场。探针台技术壁垒高且份额集中，国产厂商首先瞄准中低端市场。

过程工艺控制垄断之下，国内厂商砥砺前行。过程工艺控制有八个细分市场，大多为科磊所垄断。国内厂商起步较晚，但目前也已在六类市场中有所突破，技术水平以28nm 为主。国产品牌正在研发多款产品，努力适应先进制程。

国内设备商突破自我，进击新市场、新赛道。国内以华峰测控、长川科技为代表的半导体检测设备商不断突破自我，进击新市场和新赛道。根据公司年报，华峰测控作为国内ATE 龙头，2021 年实现营业收入8.78 亿元，同比增长121%。长川科技2021 年收入15.11 亿元，其中测试机占比32.4%，分选机占比62.0%。

投资建议半导体测试和过程工艺控制设备领域竞争格局差异较大，国产品牌在多个细分领域相继突破，进击新市场、新赛道，迎来国产替代。重点推荐我国优势半导体测试设备公司华峰测控、长川科技。

另外在整个半导体设备领域，重点推荐拓荆科技、北方华创、中微公司、盛美上海、华海清科、至纯科技等。

风险提示半导体资本开支不及预期的风险、产品研发进度及性能不及预期的风险、毛利率波动风险