【量测设备】专家交流精华1、市场需求以28纳米1

【量测设备】专家交流精华

1、市场需求以28纳米1万片为例，量测和检测设备总需求约70多台，其中有图形缺陷检测占比略高于30%，约20台；膜厚量测设备占比约14%，约9-10台；电子束机台占比约11%，在8台以内；掩模版缺陷检测占比约10%，约6-7台；套刻对准占比约10%，约6-7台；OCD占比约10%，约7台；其他三维形貌、介质薄膜量测等设备需求占比18%，在十几台左右。设备单价方面，以28纳米为例，有图形缺陷检测单价1,000万元+；膜厚量测设备在800-1,000万元；OCD约2,000多万元；电子束最贵，单价接近3,000万元。

2、竞争格局整体来看，量检测是前道中国产化率最低环节之一，主要系量检测设备种类繁多、技术难度高，并且不同种类产品间技术迁移度较差。具体来看1）量测设备膜厚、OCD、CD-SEM等领域，有公司实现重复订单，实现0的突破。2）缺陷检测有图形、无图形、宏观检等设备有不少公司在做，部分公司已初步有些订单。美国制裁升级后，下游对于国产量检测设备的接受度有明显提升，但是验证时间节奏不会产生明显变化。

3、本土供应商1）中科飞测无图形、三维形貌及膜厚设备可以覆盖28纳米部分工艺，前道订单占比快速提升。2）精测电子在膜厚量测、OCD、电子束处于领先地位，是目前国内唯一推出OCD产品的公司。3）睿励科学国内第一家做量测设备的公司，目前产品主要为膜厚量测和宏观缺陷检测设备。4）Optima仍以无图形检测为主，在晶背、晶面及晶边检测竞争力较强。