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  • 作者：福气
  • 2021-08-11 15:49:07
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info688731” 提问请问上海精测半导体为中芯国际制造的12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与12寸全自动电子束晶圆缺陷复设备（Review SEM）使用情况如何？有没有后续订单？
公司官方回答您好！公司7月份出机中芯国际的半导体检测设备为12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与12寸全自动电子束晶圆缺陷复设备目前处在装机调试中。感谢您对公司的关注，谢谢！

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