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  • 作者：勿忘我
  • 2020-04-30 01:57:23
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【深交所互动易】info637453” 提问请问瑞典工厂的晶圆良率为什么才60%多，这处于同行业什么水平？
公司官方回答您好，由于MEMS属于集成电路的特色工艺分支，考验制造厂商水平的主要因素是工艺、三维结构与功能，而不是单纯地追求细线宽线距（二维）；此外，由于MEMS晶圆常常是2个以上的晶圆键合在一起，因此一个MEMS“晶圆”所蕴含的硅（或玻璃）晶圆数相当于多个（2个以上）普通CMOS晶圆，这增加了制造的难度和复杂性。目前MEMS代工行业多品种小批量的特决定了一般情况下MEMS晶圆生产良率低于普通CMOS晶圆的水平，公司已属于全球MEMS代工的第一梯队。谢谢关注！ 网页链接

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