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  • 作者：ycfzpl
  • 2023-12-12 23:13:14
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晶盛机电在11月正式启动了年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目，项目总投资21.2亿元。目前公司已经建设了6-8 英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光中试线，6英寸衬底片已通过多家下游企业验证，正处于快速上量阶段，8英寸衬底片处于下游企业验证阶段。晶盛机电作为半导体设备供应商，在设备方面也采用自研的方式，公司已经成功研发出具有国际先进水平的8英寸单片式碳化硅外延生长设备，实现了成熟稳定的8英寸碳化硅外延工艺。

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