北方华创主要侧重于金属刻蚀机，硅刻蚀机，中微半导体

【北方华创(002371)、股吧】主要侧重于金属刻蚀机，硅刻蚀机，中微半导体侧重于介质刻蚀机。在刻蚀机领域，按照材料来分，主要有三种：金属刻蚀机，硅刻蚀机，介质刻蚀机。

在硅刻蚀机领域，在国家02专项的支持下，北方华创在硅刻蚀机领域不断实现突破，先进制程工艺一路上扬，28nm，22nm都实现了突破，2016年研发出了14nm工艺的硅刻蚀机。

目前中芯国际在研发的14nm工艺，就在验证使用北方华创的硅刻蚀机，这是有里程碑意义的。

因为中芯国际作为中国最好的集成电路制造商，正在努力实现28nm的全面量产，而其在研的最先进工艺就是14nm，这意味着在硅刻蚀机领域，国产设备和国产集成电路制造已经实现了制程同步。

实际上，2017年北方华创已经在研发更先进的7nm硅刻蚀机

也就是说，至少在刻蚀机里面的“硅刻蚀机”这个领域，中国离世界顶尖水平的差距其实并没有差太远。

刻蚀机里面还包括金属刻蚀机，2017年11月，北方华创研发的中国首台适用于8英寸晶圆的金属刻蚀机，也成功搬入中芯国际的产线，这个也是有重大突破意义的，当然主流的12英寸晶圆的金属刻蚀机，我们还得努力实现突破，晶圆尺寸越大，成本降低越大。

中微半导体的16nm刻蚀机实现商业化量产并在客户的生产线上运行，7-10nm刻蚀机设备可以与世界最前沿技术比肩。

尹志尧团队从零开始，重新研发申请了专利，终于在2008年，中微半导体的刻蚀机开始打进国际市场。对于这种情况，国外公司无法接受中国人能在3年内做出高性能刻蚀机，应用材料和科林相继对中微半导体提起专利诉讼。在中微半导体拿出了关键技术的专利证据之后，两次扩日持久的诉讼都以中微半导体获胜告终。

随着中微半导体的崛起，2015年美国商业部的工业安全局特别发布公告，由于认识到中国可以做出具有国际竞争力的，而且有大量生产的等离子刻蚀机，所以决定把等离子刻蚀机从美国对中国控制的单子上去掉了。