无招无股
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吧主违规操作
色情、反动
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*投诉理由
答：北京科锐的子公司有:13个,分别是详情>>
答：【北京科锐（002350） 今日主力详情>>
答：北京科锐上市时间为：2010-02-03详情>>
答：1、行业竞争格局 配电行业详情>>
答：许可经营范围:以下项目限分支机详情>>
今日电子身份证概念主力资金净流入3574.48万元,任子行、南天信息等股领涨
电子政务概念整体大涨，通达海涨幅20.01%，任子行涨幅19.94%
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info832170”提问
公司官方回答您好！低压化学气相沉积（LPCVD） 设备是指在加热和低压环境下，利用气态原料在固体衬底表面发生化学反应，反应产物在衬底表面沉积形成薄膜的设备。LPCVD设备是在常压化学气相沉积（APCVD）的基础上，为了提高薄膜质量，改善膜厚和电阻率等特性参数的分布均匀性，以及提高生产效率而发展起来的，其主要特征是在低压热场环境下，工艺气体在圆片衬底表面发生化学反应，反应产物在衬底表面沉积形成薄膜。LPCVD设备在优质薄膜的制备方面具有优势，可用于制备氧化硅、氮化硅、多晶硅、碳化硅、氨化镓和石墨烯等薄膜。 公司控股子公司基于TOPCon技术开发出的低压化学气相沉积LPCVD设备已经量产。
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