奥普光电承担国家科技重大专项 潜在的光刻机国产替代者

光刻机，是芯片制造过程中的核心，是制造芯片重要的上游设备，地位极其重要。

半导体设备行业细分领域众多，大致上可以分为沉积设备、光刻设备、刻蚀设备、材料制备设备、表面处理设备、安装设备等几大块。

其中最核心的，技术门槛最高的，是光刻设备，目前被一家荷兰公司垄断——ASML。ASML占据了全球高达80%的市场份额，以及全部的高端市场份额，最先进的EUV光刻机每台售价都超过1亿美元。

光刻设备占据了半导体设备市场的39%，高端技术壁垒太强，国内厂商则选择从中低端开始切入。

荷兰ASML牛到什么地步？他是荷兰电器巨人飞利浦集团旗下的集成电路部门，后被独立分离出来，目前占据世界高达80%的市场份额，垄断了高端光刻机市场，而且世界主要芯片制造商英特尔，三星 和台积电都是ASML的股东，它们用来加工14/16nm芯片的光刻机都是买自ASML，而格罗方德、联电以及中芯国际等晶圆厂的光刻机主要也是来自ASML，ASML可谓独步天下、独孤求败。而在我国国内，晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。这就是为何ASML售价超过1亿美金的高端设备EUV NXE 3350B（EUV极紫外线光刻机），号称半导体业的终极武器，台积电、英特尔都寄望，这台史上最昂贵的工具机，会在2017年开始试产的七奈米制程大发神威，成为主力机种。

相比之下，国内光刻机厂商则显得非常寒酸，处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中，性能最好的是能用来加工90nm芯片的光刻机，论技术差距说是鸿沟都不为过。正是因此，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口，但是由于西方瓦森纳协议的限制，中国只能买到ASML的中低产品，这一从2016年厦门当地企业进口的光刻机报价仅1亿人民币就可以出来了。作为集成电路 制造过程中最核心的设备，光刻机至关重要，芯片厂商想要提升工艺制程，没有它万万不行，中国半导体工艺为啥提升不上去，光刻机被禁售是一个主要因素。

这么昂贵的设备，为什么不卖给中国呢？这就要提到《瓦森纳协定》。《瓦森纳协定》又称瓦森纳安排机制，全称为《关于常规武器和两用物品及技术出口控制的瓦森纳安排》，目前共有包括美国、日本、英国、俄罗斯等40个成员国（注没有中国）。尽管“瓦森纳安排”规定成员国自行决定是否发放敏感产品和技术的出口许可证，并在自愿基础上向“安排”其他成员国通报有关息。但“安排”实际上完全受美国控制。当“瓦森纳安排” 某一国家拟向中国出口某项高技术时，美国甚至直接出面干涉，如捷克拟向中国出口“无源雷达设备”时，美便向捷克施加压力，迫使捷克停止这项交易。

那么中国发展光刻机的出路在哪里呢？

中国自主发展光刻机的突破很大可能就中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，而中科院 长春光机所是Ａ股上市公司 奥普光电 的大股东，持股42.65%. 奥普光电 本身也是从事精密光机电仪器、光机电一体化 设备。持有大量生产光刻机设备的公司公司持有奥立红外30.10%的股份，持有长光易格49%的股份，持有长光辰英26.52%的股份，持有长光辰芯32.06%的股份，持有长光博迅15%的股份，持有禹衡光学65%的股份，持有长光宇航19.23 %的股份，公司子公司持有长春长光启衡传感技术有限公司33.40%的股份。

未来作为国产替代重大专项的国产光刻机取得突破，凭借 奥普光电 与长春光机所的近水楼台，无疑将对上市公司产生重大影响。并且，不排除大股东长春光机所把光刻机资产注入 上市公司的可能！