林海森森
据媒体报道,中微半导体设备(上海)有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机最近经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。台积电计划明年进行5纳米制程试产,预计2020年量产。
中研网 2018-12-18 09:17:10
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据媒体报道,中微半导体设备(上海)有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机最近经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。台积电计划明年进行5纳米制程试产,预计2020年量产。
中研网 2018-12-18 09:17:10
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