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芯片产业链梳理系列(六)--半导体材料之靶材

  • 作者:艾雪
  • 2020-07-01 09:06:36
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要完成从石英石到芯片的华丽蜕变,离不开各种半导体材料,其中靶材就是很重要的材料之一,也是不可或缺的材料。目前这个板块表现相对于其他半导体材料板块而言偏低估,因为光刻胶、特种气体等材料位于产业链的位置比较靠前,以大基金为首的各路资金也积极布局,而且是与光刻机配套的材料,资金关注更早一些,后期靶材大概率会复制这种行情。

靶材通常被叫做溅射靶材,溅射指的是工艺,靶材指的是材料。溅射靶材是用薄膜沉积设备,在真空环境中,用高能粒子轰的方式,将靶材轰附着在基片表面,形成一层均匀的金属薄膜。金属膜要求有良好的导电性能,作用是在芯片表面连线。在芯片上面既要尽可能多的放置元件,又要保证表面连线的面积,所以经常是多层金属膜。一个硅片变成最终的芯片,要经历7个步骤扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、抛光、金属化。其中的最后一步就是溅射,半导体的金属化必须用到靶材。金属化的整个过程叫做溅射沉积工艺,被轰的材料叫做靶材。除了芯片制造环节,半导体封测环节也要用到靶材,主要用于高级封装。

靶材分为金属靶材和陶瓷靶材两种,芯片制造主要以金属材料为主,有铝靶、铜靶、镍靶、钛靶、钽靶、钨靶等等,其中用到最多的靶材是铝。靶材主要应用在三个方面半导体、显示面板和光伏太阳能板。其中体积越小的产品,对靶材的精度和纯度要求越高。应用在芯片领域的靶材技术含量最高,主要是纯度要求(99.999%起步)。

研究产业链时,重关注中游部分,中游部分靶材生产主要依靠提纯技术和生产工艺,然后再关注上游部分。我国之前的瓶颈在于提纯技术落后。

具体到个股研究时,优先关注生产工艺和提纯技术更先进的公司,尤其是生产半导体靶材的公司。

江丰电子国内半导体靶材龙头,亚洲龙二,提纯技术做到99.99999%,其铝靶和钛靶达到国际水准。公司创始人曾经在世界巨头霍尼韦尔任职,掌握靶材高端技术。目前能够达到国际水准的国内公司仅有江丰电子一家。

有研新材公司的特是全面,具备有色金属提纯技术,有国家技术研究所的技术支持。

阿石创国内显示面板靶材的龙头公司。


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